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真空计的校准
如今，真空在我们日常生活中被广泛应用于产品的生产及制造，并且扮演着重要角色。例如：在科研，工业流程，手机芯片，硬盘，太阳能电池，塑料干燥或者食品真空包装等领域。在当今的生产活动中，我们对真空度测量的性、标准化、可靠性和重复性的要求是至关重要的。当我们在进行测量的时候，高精度又是关键中的关键：
精度的高低会直接影响产品的生产质量，科学实验的准确性和设备使用的可靠性。要确保真空计使用时的高可靠性，就必须经常对它进行校准或标定。而根据每个不同应用的具体要求，这些校准工作必须符合国内或相关的。经济、有效果的国际化的机构校准及标定替代解决方案；生产活动中，真空计往往需要对外机构进行校准和标定。
然而在对量大或校准间隔要求短的条件下，使用经济的测量仪器进行现场校准能大大节约时间和费用。inficon真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。谱拓（）认为这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合人体工学标准的特点。
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什么是电离真空计的外控接法？有何好处？
答：如规管的栅极作为电子加速极，而板极作为离子收集极，此种接法即为外控接法。其好处是电子在加速中不易被栅丝截获，并受灯丝和板极的电位排斥，可以在灯丝与板极的空间，反复穿过栅极来回振荡，如此，可显著提高测量的灵敏度。
影响热阴极电离真空计测量下限的原因是什么？如何改进？
答：电子打到收集极上产生软X射线辐射，离子收集极吸收了软X射线会产生光电子发射，由此形成的电子电流正好与离子电流方向一致，故叠加在一起，但此电流与压力无关，当压力降低到形成的离子电流明显小于光电流时，收集极的离子流便不再随压力变化，即到达测量下限。增大离子流，减小光电流可以使测量下限的拓展。
真空检漏的意义？答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。
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电容-数字信号转换器原理图电路芯片利用IBM0.13umCMOS技术制造，CMOS电路板的尺寸为1950umx1850um，有效电路尺寸为263umx354um，采用2.5V电源供电，功率消耗约为0.69mW。在-20～225℃温度范围内，电路精度可达到2.4%，分辨率可达到1.44fF。
电容-数字信号转换器电路布局和芯片显微照片2.双侧电极微小电容测量敏感电容为双侧电极结构的inficon电容薄膜真空规管结构 ，敏感薄膜上的电极与上下硅基底上的电极构成了两个随真空度变化而变化的敏感电容。差动结构的敏感电容配合差动电路能准确感知薄膜的微小变化、减小寄生电容和耦合电容的影响、提高测量的共模抑制比，从而提高整个系统的分辨率，因此通常采用功耗低、易小型化集成的开关电容电路来构成差动测量电路。而随着inficon传感器的广泛应用，具有可调性、能满足不同设备需求的电路也比较受关注。
图5双侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图官设计了一种具有可调灵敏度的针对差动电容结构的inficon电容式传感器的信号测量电路。 电路包括传感器电容CX1、CX2，寄生电容CP，输入阻抗缓冲器R，前置可编程放大器，一个单位增益的反相放大器，相敏解调器，可调方波时钟发生器，低通滤波器（LPF），可编程输出放大器。可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。
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伴随着人工智能技术及其物联网技术的发展趋势，inficon电容塑料薄膜真空计的运用范畴早已从航天航空等高技术行业向通俗化行业扩展，这促使其需要量增大，类型大量，充分考虑销售市场的产品研发经济成本，产品研发和设计方案能达到不一样种类的inficon电容塑料薄膜真空计的电路是下面inficon电容塑料薄膜真空计细微电容测量电路的具体发展前景。
上世纪50时代，D.J.Pacey科学研究用石英晶振测量气体压强。他选用双三级管（整流管）做电路，其一侧与晶振组成Pierce-Miller震荡器，晶振放置被测汽体中作气体压强感应器。当气体压强转变时，阳极氧化电流量也随着转变。据悉该仪器设备能测105Pa到13.3Pa的气体压强。
中国在90时代也有些人研发了石英真空计，常用电路是以晶振自身为頻率液压控制系统的自震荡，自电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。非常近大家研发的DL-10A型石英真空计选用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。现阶段已经有石英真空计商品，例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压力，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压力。其特点为：感应器体型小，耗电量输出功率小（约1W），精密度较高（约10%），测量范围较宽（10-1~105Pa）等。
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