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洁净度测试仪：
a．尘埃粒子的检测仪表：目前洁净室洁净度的检测主要用光散射尘埃粒子计数器，它又分为白炽灯光尘埃粒子计数器和激光尘埃粒子计数器。
它的原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中的微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系来测量微粒粒径的大小。
b．生物粒子的检测仪表：目前生物粒子的检测方法主要有采用培养基法和滤膜法，所用的仪器分浮游菌采样器和沉降菌采样器。
浮游菌采样器主要有：固体撞击式采样器、离心式空气微生物采样器、气旋式微生物采样器、液体冲击式微生物采样器、过滤式微生物采样器和大容量静电沉降采样器等。
沉降菌采样器主要有：高压消毒锅、恒温培养箱和培养皿等。
●动线规划要点:要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染。作业者、化学药品、材料等动线勿集中;无尘车间四周，宜设缓冲区;制造装置的出入，不要对作业产生大影响。
●有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序;用有机溶媒精制的精制、干燥工序;生产区;病原体操作区;工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序;固体口服制剂的颗料
●节能原则:无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。的设计和设备需要很大的前期投入。那种'小处节约大处浪费'的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中 。
