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各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。蒸汽或其他含水的气体管道在i低点设置排水管或疏水阀，某些气体管道还设有气水分离器，以便及时排去水液，防止管内产生水击和阻碍气体流动。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。
实验室气路改造设计有那些要求？
1、为了便于气瓶的更换，气瓶连接器和调节阀之间应设置耐高压金属软管。
2.为了防止整个系统回火，应安装防爆止回阀。
3.气体在进入使用点之前，为了便于控制气体开关，应提供一个使用点球阀。
4.为了保持气体的纯度和管道系统的气密性，所有管道均为316L不锈钢管道，内表面经AP处理。
5.为了便于阀门部件的维护和更换，管道与阀门部件之间的连接应采用高压双卡套接头连接。
6.管道固定部件(管夹)应由耐高温金属材料制成，并应牢固、轻便和耐用。
7.考虑到坚固、耐腐蚀、使用方便、外形美观等原因，调压阀的控制面板采用不锈钢制成。
8.为了保证气体输出压力的稳定性和气体的纯度，选择了二级减压系统(即采用一级减压系统和二级减压系统，二级减压设备系统自带)。
气路系统百科知识
一、气瓶间。
1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧，并应采取遮阳防晒措施，当钢瓶间与建筑物为一体时，隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。
2、通风良好，并具有足够的泄爆面积，室内地面应有防火花，防静电措施;
3、可燃气体钢瓶(H2，C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;
4、还应设立泄露报警系统。
二、色谱室。
1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置，以便于安装、操作和检修为布置原则;
2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;
3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;
4、管道宜集中布置并沿墙明设，且方便安装及检修;
5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，留出的维修空间不宜小于600mm;
6、氢气管道宜采用焊接连接，不应采用螺纹连接和使用闸阀。
