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白光光学轮廓仪可以用来测量表面形貌。随着机械精度和光学加工能力的提高，超光滑或者次纳米表面的加工越来越普及，这些表面的量化已成为过程控制的关键。
在对超光滑表面进行定量测量时，**先要清楚每一个测量系统，均存在其固有本底噪音。这些噪音来源电子噪音，接收器噪音、参考表面的微小不平整以及测量环境引起的微小振动等。对大多数样品，NewView系统的测量噪音基本上可以忽略，因为所测量的结果远大于本底噪音。但对于非常光滑的表面，本底噪音就得加以考虑，对这些样品测量超光滑表面需要清楚知道噪声的来源并加以很好的控制。
测量超光滑表面需要对测量环境很好的控制，理想的测量环境是：
l 机械和声波的**小化
l 在测量时间内严格控制温度的变化，使样品物镜环境温度变化**小化
l 严格控制物镜和样品之间的气流，使气流对测量影响**小化
