影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源消耗。
苏州卓宇泰起重设备安装有限公司主营设备安装,设备包装,设备吊装,无尘室设备移位与定位,大型厂房搬迁等业务。
简易无尘室是快速方便建立的一座简易洁净室,简易无尘室具备多种洁净等级及空间搭配可以根据使用需求设计制作,因此其简便运用弹性大安装容易且施工期短以及可移性为其主要特点,简易无尘室同时可针对在一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的地方做局部增设以降低成本。非单流向型无尘室,由于微粒控制的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要,因此多只需要测量风量。
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每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。