所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,这才是很重要的。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。5m/s之速度,气流则较均一,(21世纪80、90年代)一般无尘室,其风速均取在0。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
洁净厂房无尘室测试目的是什么呢?其中很大部分业主都是根据净化工程开始的设想来完成测试的指标,当然这是直截了当的目标及方法,毕竟我们在建设无尘室的意愿也是如此,要达到我们的空气洁净度有需求。在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。在单流向型无尘室,风速测量的位置可由业主预定,一般是在滤网表面或是工作高度。但是需注明是滤网风速测量(滤网表面)或是无尘室室内风速测量(工作高度)。洁净厂房,无尘室,洁净室--洁净厂房无尘室测试目的。
无尘室内防止微粒子污染的基本原则:
不发生
在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策:
减少接触剥离发尘的动作形态;
采用磨耗发尘小的材质;
采用发尘小的润滑油;
机台应用空压浮上的非接触化工作原理。