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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：
1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
洁净车间的棚顶和墙板(涵盖夹芯资料)必须是不焚烧体，且不行以运用有机复合资料。棚顶的耐火极限不行少于0.4小时，分散走道棚顶的耐火极限不行少于1小时。在一个防火区内的综合性工业厂房，其洁净出产区域与一般出产区域两者之间应规划为非焚烧体隔墙密封到顶。隔墙以及相关联的顶板其耐火极限不行少于1小时，墙面上的门窗耐火极限不行少于0.6小时。穿过隔墙或顶板的电缆电线其周围缝隙应运用非焚烧资料堵塞填充。
随着科学技能的发展，工业产品的更新换代很快，人们对生活质量要求也越来越高，工业洁净室净化工程、生物洁净室净化工程的建造一日千里，因此洁净室净化工程规划自身便具有高新技能、技能密集和资金密集的特点，为了进步洁净室净化工程建成后的技能经济效益，在进行洁净室净化工程规划时应设法尽可能地考虑一定的灵活性，以便使建成后的洁净室净化工程能跟着科学技能的发展能够随便地进行技能改造，适应产品换代或设备更新的要求。
