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光学平板
随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展，由于大批量半导体硅片加工的需要，光学平板价格，国外出现了双面高速加工机床，适用于半导体硅片的双面研磨和抛光，进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。光学平板通常作为分光镜或窗口等透过型元件或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面。表面经过氧化发黑处理，既美观，也适合光路搭建的环境。
光学平板结构是什么
夹心光学平板主要是由带磁不锈钢(不锈铁)及填充材料组成(目前使用多的填充材料是蜂窝巢结构材料及型钢框架结构)。特点是:固有频率低，吸振性能强。
光学平台支架按其隔振形式主要分为:机械式隔振支架与气垫式隔振支架。
机械式隔振支架主要是利用各种隔振材料(如:减震弹簧、隔振橡胶等)将主动或被动震源尽量阻隔，使其尽可能少地传递到光学平台上。特点是造价相对便宜，使用和维护方便。缺点是只能用于环境震动相对较好的场合。
光学平板
光学平台的硬重比对于其共振频率有着重要的影响。较高的硬重比可以提高平台的共振频率，从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下，具有较高硬重比的平台可以在较小的重量下产生较小的变形，增加系统内部的刚性。内部采用蜂窝状支撑结构的光学平台可以充分的提高硬重比，达到提高系统性能的目的。精密光学平台分为两大类：气囊减振及机械阻尼减振，气囊减振可获得较低的频率
