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检查措施
在这一步SU-8模具已经完成，但我们必须检查它是否符合我们的期望。为此，您必须在显微镜下观察它以进行第yi次目视检查。然后您可以使用光学或机械轮廓仪来测量层的深度。
SU8模具特点
1）利用光刻工艺，可实现微米级别特征图案的制备
2）模具机械强度强
3）实现结构的大深宽比
顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累，持续将zhuan业知识与创新思维相结合，为客户提供gao品质的解决方案。我们将始终坚持以客户为中心，不断挑战自我，通过创新和合作，为客户创造更大的价值，共同kai创微流控领域的美好未来。
环氧树脂材料，可用于浇筑PDMS芯片，具有SU8模具的精度，又具有常规亚克力模具的耐用性。
树脂模具，一般通过SU8模具/纯硅模具先制备PDMS芯片，在通过PDMS芯片的翻模制备而成，其具有多重显著优势。
1、树脂模具能以高度jing确的方式清晰fu制PDMS芯片微结构，保持微细特征的准确性和清晰度。
2、树脂模具易于脱模，无需复杂的处理步骤，具备可重复使用的特性，极大提高了制备效率，降低了成本，尤其适用于批量生产和多次实验的场景。
3、树脂模具的应用显著减少了SU8模具/纯硅模具的使用频率，有效延长了SU8模具/纯硅模具的使用寿命。树脂模具与SU-8模具或纯硅模具相比，后者不仅制备成本高昂，而且一旦受损，无法修复。相较之下，树脂模具具备多次重复使用的能力，损坏后，可以通过PDMS芯片再次进行fu制。这一工艺简便，成本低廉，尤其对于需要大规模生产和多次fu制高精度微结构的PDMS芯片制备，树脂模具凭借其zhuo越的经济性和可靠性，表现出明显的竞争优势。
外观结构1、具有一定透明度，可透光检查模具效果及内部结构；
2、外形可与硅片类似，成圆形，上下平整，有切边。模具优点1、不用做疏水处理，脱模简单
2、不易碎裂
3、表面易清洁，可重复使用
顶旭微控提供PDMS芯片模具定制加工服务，可提供纯硅模具，SU8模具，亚克力模具，树脂模具。纯硅模具，深刻比大，精度高；SU8模具，采用光刻工艺，zui小线宽5um，深宽比zui大2：1；亚克力模具，适合大于0.1mm的流道。顶旭微控，拥有he心技术，多年加工经验，效率gao，承接科研定制，企业小批量、大批量定制。
纯硅模具介绍纯硅模具是制备高深宽比微通道的理想选择，利用硅的干法刻蚀技术，可以轻松实现深宽比zui高达25:1的微通道结构，而且线条宽度可控制在2微米以上，精度误差仅在±1微米范围内。 然而，硅表面通常具有强烈的亲水性，这可能导致PDMS芯片在脱模时黏附在硅表面，制造过程中的一大挑战。为解决这个问题，通常需要对硅表面进行疏水修饰，使硅表面变得疏水，确保PDMS芯片能够轻松从硅模具上脱离，而不受亲水性的干扰（具体疏水解决方案可咨询销售）
