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特点:

Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外,可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。

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卧式涡轮分子泵特点是其转子主轴水平布置。这种结构的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中央,气体吸入后,分别被左右两侧的叶列组合抽走。轴承分别装在各抽气单元的排气侧

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卧式涡轮分子泵结构的分子泵是双轴流抽气时转子受力均匀,轴承定位、受力状态好,使用寿命长,且轴承更换过程中,转子位置不动,维修方便。

卧式泵有两组涡轮叶片,体积大,外壳形状复杂,因而造价也较高。

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