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四种常见的真空镀膜材料
1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化钛TiO2,二氧化锆ZrO2,二氧化铪HfO2,一氧化钛TiO,五氧化三钛Ti3O5，五氧化二铌Nb2O5，五氧化二钽Ta2O5,氧化钇Y2O3，氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料。
2.氟化物：氟化钕NbF3,BaF2，氟化CeF3，氟化镁MgF2，LaF3，氟化钇YF3，氟化镱YbF3，氟化铒ErF3等高纯氟化物。
3.其它化合物：硫化锌ZnS，硒化锌ZnSe，氮化钛TiN，碳化硅SiC，钛酸镧LaTiO3，钛酸钡BaTiO3，钛酸锶SrTiO3，钛酸镨PrTiO3，CdS等真空镀膜材料。
4.金属镀膜材料：高纯铝Al，高纯铜Cu，高纯钛Ti，高纯硅Si，高纯金Au，高纯银Ag，高纯铟In，高纯镁Mg，高纯锌Zn，高纯铂Pt，高纯锗Ge，高纯镍Ni,高纯金Au，金锗合金AuGe，金镍合金AuNi，镍铬合金NiCr，钛铝合金TiAl，铜铟合金CuInGa，铜铟硒合金CuInGaSe，锌铝合金ZnAl，铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。
防水镀膜机采用方法
防水镀膜机采用方法，防水手机普遍采用的方法就是密封胶、橡胶圈、防水膜、纳米涂层。还有就是防水主板，手机厂商通常在主板上增加一层防水涂层，让主板具备实现防水能力。
先通过真空高压雾化机将手机内部空气抽出，在通过雾化机将纳米防水绝缘液雾化后，在根据不同型号的手机调整好的相应的压强大小，雾化用量，还有时间的设定，和温度控制，开始镀膜，进入烤箱烘烤固化，完成镀膜。而且镀膜剂通过化学反应和车漆融合在一起，渗透至车漆内部，达到填补车漆分子之间的空隙。不过工艺复杂，技术要求高，且设备多，不宜在外操作移动。
粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
只要仪器和系统控制软件的连接，它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的，镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。
器材作用：防锈、防腐、防霉、防过敏、润滑
Parylene是一种具有化学惰性又有良好的生物相容性高纯涂层材料，已经通过美国FDA认可，用于各类体内植入，经它涂敷的器件可改善表面润滑型、生物相容性、提高可靠性。以上几项工作确保没有问题后，才可以关闭真空镀膜室的门，进行抽气和镀膜。Parylene的生物兼容性及其生物稳定性使其能够提供良好的防潮、防化学和介电保护。涂敷薄膜的摩擦系数低，因而可以应用于需要润滑的地方。
