点击图片查看原图真空设备检漏
一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。
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氢气检测仪在氢气泄漏检测中的应用
燃料应用氢气可以用作燃料,具有资源丰富、热值高、洁净等特点。
不过，氢气虽然用途广泛，但在使用过程中也有很多缺点。氢气要安全储藏和运输并不容易，它重量轻、难捉摸、扩散速度快，需低温液化，会导致阀门堵塞并形成不必要的压力。
氢气气体检测仪对氢气检测反应迅速且，以保证有危害发生时可以及时报警，是当今工业领域检测气体灵敏并可报警的检测仪，其设计可以适应这些恶劣的工作环境。主要包括以下三种常用的氢气气体检测仪：
便携式氢气检测仪。便携式氢气泄漏检测仪可连续检测作业环境中氢气浓度。氢气泄漏检测仪为自然扩散方式检测气体浓度，采用进口电化学传感器，具有的灵敏度和出色的重复性；氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将设备完全抽成真空状态,往往会增加试验用设备（如高、低压真空泵、真空阀等）和设备工装（如外压加强圈）而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备。氢气检测仪采用嵌入式微控制技术，菜单操作简单、功能齐全、可靠性高、整机性能居国内水平。
氦质谱检漏仪：
1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。
2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。
3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
