点击图片查看原图真空泵维修的相关问题。
1，必须先泵浦外观现象是否有破损，如有破损需告知使用单
2，维修之前先了解使用单位，使用制程是什么，以便于后续处理的方式做铺垫
3，维修之前先检查泵浦是什么故障，如果是卡死就不宜通电，以免把电机烧毁
4，如果使用单位也不确定泵浦本身什么故障，维修人员可以拆掉名pai那里，用扳手转动试试，如果能转动证明没有卡死，我们可以通电检查，如果卡死我们维修人员不适宜通电，以免电机烧毁
5，维修之前检查电源部分，在没有确定之前，先问问使用单位电压是多少，有点没有图纸的，就算有图纸也hao根据使用单位的电压为准，确定电压对了，方可通电运转
iXH 干式工业级真空泵系统
iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有可靠性。
iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。
尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在效率点运转，才能获得da的节能效果。
真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C 。
如发现真空泵有异常声音应立即停机检查原因。
真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。
真空泵在工作第yi个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常。
定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
Edwards Drystar 80 干式真空泵易于安装和试运转，同时洁净、坚固、高，足以取代传统的油封泵。 GV80可处理大容量可冷凝蒸汽和颗粒负载，提供稳定的泵送性能、的维修干预和低运行成本。 Drystar 80 使用干泵技术，具备的密封设计，可消除真空制程中的污染，因此适合各种应用和环境。 Edwards真空泵 工业干泵 GV80 爪式真空泵 爱德华工业干泵 干式真空泵
概述
Edwards 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。
我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。
Drystar 泵可以与 Edwards EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
