真空系统的基本要求是什么?
抽取设备或工作室获得所需的极限真空和工作真空值。
空度是指设备在没有泄漏和排气的情况下达到的真空值,工作真空值是指设备在真空处理过程中可以维持的真空值。在真空处理过程中,经常会释放出大量的气体,当工作真空值明显低于极限真空度时。极限真空度和工作真空值各有其重要性,它们从不同的侧面影响设备的质量。例如,在使用氧化物负极器件的排气真空系统中,电10-2极除气和负极分解产生大量的空气。如果工作真空值差,可能会导致电极氧化不良。但当设备密封时,基本上没有泄漏,设备中的真空值取决于排气真空系统的极限真空度。
真空系统的自动化要求
随着计算机技术的发展,用户对真空系统自动化的要求不断提高。对于真空系统,自动控制主要是调整真空泵流量和真空值。真空值通常由调节真空泵流量、安装节流阀和减压阀控制。节流方法能量损失大,产生额外噪声,尽量直接调整真空泵转速。工业真空泵的调速方法有很多,主要分为两种:头种是电机转速不变,通过附加设备改变真空泵的转速,如变速箱调速,第二种是直接改变电机的转速,如硅系列调速、变频调速等。目前,工业真空泵常用的方法是变频调速,节能效果好,可实现无级调速、调速比大、调速准确、速度稳定。
真空仪器的使用方法
真空度测试仪使用方法
将被测的真空管两端断电。被测的真空管不必从开关柜上拆卸,但必须使真空管处于正常的断开状态,并打开真空开关进出线的刀闸;若真空开关还没有装上,也需要采取措施使真空开关动静触头处于正常开距状态,并将其置于绝缘良好的支撑架上,同时要注意磁控线圈的安装位置,应安装在灭弧室中间略偏动触头的位置。