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分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力,避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高,造成负荷过大,泵温过高等

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岛津Shimadzu TMP-1303LM/TMP-1303 LMC .Shimadzu TMP-1303LM/TMP-1303LMC 分子泵进气法兰口VG200/ICF253/ISO200B ,出气法兰口KF40,TMP-1303MC岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为:Shimadzu EI-D1303M

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涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器,高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。

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极限压力是设备厂家出厂前按照国jia标准、采用标准测试设备、仪表、方法进行的泵入口zui理想的状态下所得到的值.zui终压力可以理解为泵与设备安装后对设备抽空后所能达到的zui低压力

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五轴磁悬浮分子泵分子泵维修,请务必确认维修厂家有无如下设备及备件: 氦质谱检漏仪:是用来测试分子泵有无渗漏的,五轴磁悬浮分子泵维修后,因真空密封及接口较多,很容易有轻微渗漏而导致您镀膜线腔体中真空度差,又直接导致镀膜质量差。

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